波譜儀

　　在電子探針中，X射線是由樣品表面以下 m數(shù)量級的作用體積中激發(fā)出來的，如果這個體積中的樣品是由多種元素組成，則可激發(fā)出各個相應元素的特征X射線。

　　被激發(fā)的特征X射線照射到連續(xù)轉動的分光晶體上實現(xiàn)分光（色散），即不同波長的X射線將在各自滿足布拉格方程的2 方向上被（與分光晶體以2:1的角速度同步轉動的）檢測器接收。

　　波譜儀的特點：

　　波譜儀的突出優(yōu)點是波長分辨率很高。如它可將波長十分接近的VK （0.228434nm），CrK 1（0.228962nm）和CrK 2（0.229351nm）3根譜線清晰地分開。

　　但由于結構的特點，譜儀要想有足夠的色散率，聚焦圓的半徑就要足夠大，這時彎晶離X射線光源的距離就會變大，它對X射線光源所張的立體角就會很小，因此對X射線光源發(fā)射的X射線光量子的收集率也就會很低，致使X射線信號的利用率極低。

　　此外，由于經(jīng)過晶體衍射后，強度損失很大，所以，波譜儀難以在低束流和低激發(fā)強度下使用，這是波譜儀的兩個缺點。