砷化鎵
(gallium arsenide)化學(xué)式 GaAs。黑灰色固體,熔點(diǎn) 1238℃。它在600℃以下,能在空氣中穩(wěn)定存在,并且不為非氧化性的酸侵蝕。
目錄
砷化鎵簡(jiǎn)介
砷化鎵基本屬性
砷化鎵單晶生產(chǎn)技術(shù)
砷化鎵晶片發(fā)展前景
砷化鎵簡(jiǎn)介
一種重要的半導(dǎo)體材料。屬Ⅲ-Ⅴ族化合物半導(dǎo)體?;瘜W(xué)式GaAs,分子量144.63,屬閃鋅礦型晶格結(jié)構(gòu),晶格常數(shù)5.65×10-10m,熔點(diǎn)1237℃,禁帶寬度1.4電子伏。砷化鎵于1964年進(jìn)入實(shí)用階段。砷化鎵可以制成電阻率比硅、鍺高3個(gè)數(shù)量級(jí)以上的半絕緣高阻材料,用來(lái)制作集成電路襯底、紅外探測(cè)器、γ光子探測(cè)器等。由于其電子遷移率比硅大5~6倍,故在制作微波器件和高速數(shù)字電路方面得到重要應(yīng)用。用砷化鎵制成的半導(dǎo)體器件具有高頻、高溫、低溫性能好、噪聲小、抗輻射能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。此外,還可以用于制作轉(zhuǎn)移器件──體效應(yīng)器件。砷化鎵是半導(dǎo)體材料中,兼具多方面優(yōu)點(diǎn)的材料,但用它制作的晶體三極管的放大倍數(shù)小,導(dǎo)熱性差,不適宜制作大功率器件。雖然砷化鎵具有優(yōu)越的性能,但由于它在高溫下分解,故要生長(zhǎng)理想化學(xué)配比的高純的單晶材料,技術(shù)上要求比較高。
砷化鎵基本屬性
規(guī) 格 砷化鎵
傳輸范圍 (微米) 1.0-22
折射指數(shù)@10微米 3.277
折射指數(shù)的溫度系數(shù)@10.6微米, 149 x 10/度
體積吸收系數(shù)@10微米 / 厘米 <0.01
熔點(diǎn), 度 1600
硬度 (努普), 千克/平方毫米 750
密度, 克/立方厘米 5.37
斷裂模數(shù), 兆帕 13.8
楊式彈性模數(shù), 千兆帕 8.3
斷裂韌度 兆帕/米 0.31
砷化鎵單晶生產(chǎn)技術(shù)
中國(guó)掌握“半導(dǎo)體貴族”砷化鎵單晶生產(chǎn)技術(shù)
作為第二代半導(dǎo)體,砷化鎵單晶因其價(jià)格昂貴而素有“半導(dǎo)體貴族”之稱。昨天,中國(guó)科學(xué)家宣布已掌握一種生產(chǎn)這種材料的新技術(shù),使中國(guó)成為繼日本、德國(guó)之后掌握這一技術(shù)的又一國(guó)家。 北京有色金屬研究總院宣布,國(guó)內(nèi)成功拉制出了第一根直徑4英寸的VCZ半絕緣砷化鎵單晶。
據(jù)專家介紹,砷化鎵可在一塊芯片上同時(shí)處理光電數(shù)據(jù),因而被廣泛應(yīng)用于遙控、手機(jī)、DVD計(jì)算機(jī)外設(shè)、照明等諸多光電子領(lǐng)域。另外,因其電子遷移率比硅高6倍,砷化鎵成為超高速、超高頻器件和集成電路的必需品。它還被廣泛使用于軍事領(lǐng)域,是激光制導(dǎo)導(dǎo)彈的重要材料,曾在海灣戰(zhàn)爭(zhēng)中大顯神威,贏得“砷化鎵打敗鋼鐵”的美名。
據(jù)悉,砷化鎵單晶片的價(jià)格大約相當(dāng)于同尺寸硅單晶片的20至30倍。盡管價(jià)格不菲,目前國(guó)際上砷化鎵半導(dǎo)體的年銷售額仍在10億美元以上。在“十五”計(jì)劃中,我國(guó)將實(shí)現(xiàn)該產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化,以占據(jù)國(guó)際市場(chǎng)。
砷化鎵晶片發(fā)展前景
2010年5月,新一期英國(guó)《自然》雜志報(bào)告說(shuō),美國(guó)研究人員研發(fā)出一種可批量生產(chǎn)砷化鎵晶片的技術(shù),克服了成本上的瓶頸,從而使砷化鎵這種感光性能比硅更優(yōu)良的材料有望大規(guī)模用于半導(dǎo)體和太陽(yáng)能相關(guān)產(chǎn)業(yè)。
美國(guó)伊利諾伊大學(xué)等機(jī)構(gòu)研究人員報(bào)告說(shuō),他們開(kāi)發(fā)出的新技術(shù)可以生成由砷化鎵和砷化鋁交疊的多層晶體,然后利用化學(xué)物質(zhì)使砷化鎵層分離出來(lái),可同時(shí)生成多層砷化鎵晶片,大大降低了成本。這些砷化鎵晶片可以像“蓋章”那樣安裝到玻璃或塑料等材料表面,然后可使用已有技術(shù)進(jìn)行蝕刻,根據(jù)需要制造半導(dǎo)體電路或太陽(yáng)能電池板。
不過(guò),該技術(shù)目前還只能用于批量生產(chǎn)較小的砷化鎵晶片,如邊長(zhǎng)500微米的太陽(yáng)能電池單元。下一步研究將致力于利用新技術(shù)批量生產(chǎn)更大的砷化鎵晶片。
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