基于高階抑制達曼光柵的微透鏡陣列焦距的快速測量

摘要： 提出了一種用高階抑制二維達曼光柵作為分光元件替代普通衍射光柵實現(xiàn)微透鏡陣列焦距快速測量的方法。高階抑制二維達曼光柵具有優(yōu)良的分光效果，且高階衍射級次能夠得到有效抑制，通過信噪比的提高降低焦距測量誤差。設計并制備了一分五的高階抑制二維達曼光柵，分束后的光束經(jīng)過微透鏡，在其焦面附近形成高對比聚焦光斑陣列。相比常規(guī)一維光柵，所提方法通過測量每個微透鏡焦面內(nèi)光斑兩兩之間的距離，得到多個...