現(xiàn)代化產業(yè)體系中科技創(chuàng)新與產業(yè)創(chuàng)新的深度融合：全球新一代光刻系統(tǒng)的啟示

摘要： 以科技創(chuàng)新引領現(xiàn)代化產業(yè)體系建設是把握新一輪科技革命和產業(yè)變革機遇的戰(zhàn)略選擇，也是面向高水平科技自立自強贏得戰(zhàn)略主動的必然之舉?？萍紕?chuàng)新是產業(yè)創(chuàng)新的內生動力，產業(yè)創(chuàng)新是科技創(chuàng)新的價值實現(xiàn)，構建和完善現(xiàn)代化產業(yè)體系關鍵在于實現(xiàn)科技創(chuàng)新和產業(yè)創(chuàng)新的深度融合。文章以全球極紫外（EUV）光刻系統(tǒng)為例，基于創(chuàng)新鏈視角，從“應用基礎研究—應用研究—中試放大—大規(guī)模量產”4個階段對EUV光刻... （共12頁）