高次凸非球面補(bǔ)償檢驗(yàn)方法研究
量子電子學(xué)報(bào)
頁數(shù): 10 2024-01-15
摘要: 高次凸非球面鏡是光學(xué)系統(tǒng)中至關(guān)重要的元件,通常作為次鏡來補(bǔ)償光學(xué)系統(tǒng)的軸外像差,但其檢驗(yàn)方法一直是一大難點(diǎn)?;诒诚蛄阄粰z測方法,提出利用三透鏡與單折射面組合的形式來補(bǔ)償高次非球面的法線像差。首先選取高次非球面的二次比較面來簡化計(jì)算,基于三級像差理論求解系統(tǒng)的初始結(jié)構(gòu),對高次非球面的法線像差進(jìn)行補(bǔ)償,使用ZEMAX軟件仿真與優(yōu)化后,設(shè)計(jì)結(jié)果完全滿足要求。隨后結(jié)合一塊有效通光口徑...