微小角度測(cè)量裝置不確定度分析及實(shí)驗(yàn)研究

摘要： 為了準(zhǔn)確獲得基于法布里-珀羅(F-P)標(biāo)準(zhǔn)具的微小角度測(cè)量裝置的測(cè)量精度，采用測(cè)量不確定度評(píng)定指南法(GUM)和蒙特卡洛法(MCM)分別進(jìn)行角度測(cè)量不確定度研究。建立了GUM不確定度評(píng)定模型和MCM不確定度評(píng)定數(shù)學(xué)模型，采用正反轉(zhuǎn)測(cè)角差法調(diào)整反射鏡初始位置，完成了150″的角度測(cè)量重復(fù)性實(shí)驗(yàn)，獲得了不同評(píng)定方法下的測(cè)量不確定度。評(píng)定結(jié)果顯示，在150″測(cè)量范圍內(nèi)，GUM不確定度...