偏振調(diào)制掃描光學(xué)顯微鏡方法

摘要： 基于反射差分譜原理搭建了適用于二維材料和微納器件的偏振調(diào)制掃描光學(xué)顯微鏡系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)對(duì)于材料或者器件的微米級(jí)區(qū)域進(jìn)行反射差分顯微成像的研究.通過(guò)研究?jī)煞N典型的二維層狀材料MoS₂和ReSe₂的反射差分顯微成像,發(fā)現(xiàn)相比于傳統(tǒng)的反射顯微鏡,我們搭建的偏振調(diào)制掃描光學(xué)顯微鏡對(duì)于二維材料的層數(shù)特征更敏感,且可以用來(lái)表征二維材料的平面光學(xué)各向異性.相關(guān)研究有助于更進(jìn)一步理解層狀二...