凹非球面的非零位干涉檢測技術(shù)

摘要： 為了實(shí)現(xiàn)凹非球面的快速、高精度與通用化檢測，文中提出了一種將非球面當(dāng)做球面，直接采用干涉儀檢測的非零位干涉檢測方法，并結(jié)合相應(yīng)的數(shù)據(jù)處理方法，獲得非球面的面形誤差檢測結(jié)果。首先，介紹了該方法的檢測原理，建立了回程誤差、調(diào)整誤差的計(jì)算與去除模型，研究了面形誤差的數(shù)據(jù)處理方法。然后，以兩個(gè)不同非球面度的凹非球面為例，對其回程誤差和調(diào)整誤差進(jìn)行了仿真計(jì)算，驗(yàn)證了該方法的有效性。最后，...