基于掩模光刻的液晶波前校正器設計與制備

摘要： 液晶波前校正器通常基于液晶顯示器的工藝制備而成，因此其研制成本高、定制難度大。本文基于掩模光刻法制備液晶波前校正器，以實現(xiàn)液晶波前校正器的專用化、低成本研制。基于掩模光刻技術(shù)設計并制備了91像素的無源液晶驅(qū)動電極，并封裝成液晶光學校正單元。設計并制備了驅(qū)動連接電路板，實現(xiàn)了液晶光學驅(qū)動單元和驅(qū)動電路板的匹配對接。對液晶波前校正器響應特性進行檢測。結(jié)果顯示，其相位調(diào)制量為5.5個...