正弦型中頻面形誤差對(duì)光學(xué)傳遞函數(shù)的影響

摘要： 中頻面形誤差（MSFSE）會(huì)導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)發(fā)生小角度散射，影響系統(tǒng)性能。為了在光學(xué)設(shè)計(jì)和光學(xué)加工中制定合理的中頻面形誤差公差，就中頻面形誤差對(duì)光學(xué)系統(tǒng)調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）的影響進(jìn)行了量化研究。在衍射受限條件下，推導(dǎo)出正弦型中頻面形誤差對(duì)光學(xué)系統(tǒng)MTF的影響的表達(dá)式并對(duì)其進(jìn)行分析，然后通過(guò)光學(xué)設(shè)計(jì)軟件仿真驗(yàn)證理論推導(dǎo)結(jié)果。假設(shè)光學(xué)系統(tǒng)光瞳上帶有正弦型中頻面形誤差，對(duì)光瞳函數(shù)進(jìn)行傅...