面向栽培基質(zhì)的二氧化鈦電極EGFET pH傳感器設計

摘要： 針對農(nóng)業(yè)生產(chǎn)中栽培基質(zhì)直接在線檢測pH準確性差的問題，采用化學腐蝕法，制備出具有氫離子敏感特性和超親水特性的二氧化鈦(TiO₂)電極，并且采用退火工藝以提高電極表面硬度；將TiO₂電極與金屬氧化物場效應晶體管(MOSFET)組合成基于延伸式柵極場效應晶體管(EGFET)的pH傳感器.測試得到傳感器靈敏度為0.050 63 V/pH,重復性試驗的變異系數(shù)最大為0.005 7.... （共6頁）