大行程位移臺干涉測距系統(tǒng)的誤差補償

摘要： 雙頻激光干涉儀作為常用的精密光學(xué)非接觸式測量設(shè)備，具有精度高、抗干擾能力強、靈活性好等優(yōu)點。然而環(huán)境溫度變化、機械振動等因素可能會影響其測量結(jié)果的準確性，并且影響程度會隨著測量光程的增加而增大。針對基于雙頻激光干涉儀的大行程位移臺測距系統(tǒng)，首先研究了位移臺測距系統(tǒng)的測量原理，然后針對系統(tǒng)存在的各項誤差進行了分析和補償，最后，對系統(tǒng)進行綜合誤差補償實驗，短時間補償量達到10~(-...