光柵MOEMS加速度計(jì)溫度特性
微納電子技術(shù)
頁(yè)數(shù)： 7 2024-04-25
摘要： 由于硅微機(jī)械加速度計(jì)受溫度影響，導(dǎo)致硅彈性模量和熱膨脹系數(shù)發(fā)生變化，造成微光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS)加速度計(jì)標(biāo)度因數(shù)漂移、測(cè)量穩(wěn)定性下降等問(wèn)題。首先，采用COMSOL軟件對(duì)光柵MOEMS加速度計(jì)微機(jī)械結(jié)構(gòu)部分進(jìn)行了溫度特性仿真，分析了硅彈性模量溫度系數(shù)和熱膨脹系數(shù)對(duì)光柵MOEMS加速度計(jì)微機(jī)械結(jié)構(gòu)標(biāo)度因數(shù)和零位的影響。其次，設(shè)計(jì)了溫控精度達(dá)0.1℃的溫度控制系統(tǒng)，并利用該系統(tǒng)對(duì)加...
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