面向MEMS質(zhì)譜儀離子源的場發(fā)射針尖陣列研制及性能

摘要： 針對微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)質(zhì)譜儀應(yīng)用中對高工作氣壓和高電子電流的需求，同時保持MEMS技術(shù)在體積和質(zhì)量上的優(yōu)勢，研制了一種用于MEMS質(zhì)譜儀離子源的基于場發(fā)射原理的針尖陣列。通過MEMS加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)了最大44個/mm~2的針尖密度，并在4和6英寸(1英寸=2.54 cm)的硅基晶圓上完成平行批量制造。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示，1 600個針尖組成的陣列在3.4×10^-3Pa氣壓下...