熱振子式Z軸MEMS角速度陀螺敏感機理的研究

摘要： 揭示了一種熱振子式Z軸MEMS角速度陀螺的敏感機理。在給出工作原理、熱振子的振動模態(tài)和陀螺效應的基礎(chǔ)上，對敏感結(jié)構(gòu)內(nèi)的溫度場進行了計算。結(jié)果表明：(1)開機1.8 s后在敏感結(jié)構(gòu)內(nèi)形成一個穩(wěn)定的溫度場。(2)熱振子在Y方向建立驅(qū)動模態(tài)，當沿著Z軸輸入角速度時，在哥氏力的作用下熱振子沿著X方向移動，造成溫度場偏移，X方向上對稱平行設(shè)置的兩熱線溫差ΔT_X隨著輸入加速度a_z的加大...