基于超短脈沖激光刻蝕的雙解耦MEMS陀螺儀調(diào)頻技術(shù)研究

摘要： 以雙解耦雙質(zhì)量硅微陀螺儀為主要研究對(duì)象，從微觀結(jié)構(gòu)入手，分析其工作原理和雙解耦運(yùn)動(dòng)模型，并提出影響模態(tài)特征頻率的因素。提出一種改變陀螺儀彈性梁結(jié)構(gòu)厚度來(lái)調(diào)整其特征頻率的方法，建立模型通過(guò)Comsol軟件仿真陀螺儀梁厚度變化對(duì)特征頻率的影響關(guān)系，并選擇皮秒激光刻蝕系統(tǒng)刻蝕陀螺彈性梁厚度，測(cè)試其兩模態(tài)特征頻率。測(cè)試結(jié)果表明：對(duì)應(yīng)頻率變化符合理論推導(dǎo)和仿真趨勢(shì)。