正弦調(diào)頻激光干涉儀Lissajous降維迭代校正算法

摘要： 正弦調(diào)頻激光干涉儀(SFMI)在基礎(chǔ)科學(xué)、精密制造等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，但相位調(diào)制深度變化等非線性誤差限制了其測程及精度的進(jìn)一步提高。本文提出一種新型正弦調(diào)頻干涉儀Lissajous校正方法，通過降維迭代算法對測量過程中的干涉正交信號進(jìn)行橢圓參數(shù)提取，實現(xiàn)實時校正，以消除非線性誤差，提高測量精度。仿真測試證明，所提方法精度高，帶寬利用率高，消耗資源少，對于正弦調(diào)頻干涉儀測程和精度的提...