基于光束偏轉(zhuǎn)法的原子力顯微鏡探針一致性裝配系統(tǒng)研究

摘要： 為解決原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope, AFM）系統(tǒng)更換探針后光路調(diào)整復(fù)雜耗時(shí)、精度不足的問題，本文首次提出通過精密控制探針與探針夾裝配位置來實(shí)現(xiàn)更換的探針相對(duì)AFM系統(tǒng)原光路位置的一致，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)免去AFM系統(tǒng)換針后調(diào)整光路步驟。該系統(tǒng)的光路一致性組件采用光束偏轉(zhuǎn)法對(duì)探針位置與偏轉(zhuǎn)進(jìn)行放大與監(jiān)測，并使用高精度位移與角度調(diào)節(jié)平臺(tái)進(jìn)行探針相對(duì)于探針夾的...