基于低粘度硅油波動的動態(tài)干涉儀誤差標定

摘要： 液面絕對檢驗法通常以高粘度液體平面作為基準標定光學平晶的平整度，基準液面的穩(wěn)定時間及受干擾后恢復時間長。文章提出動態(tài)液面絕對檢驗法，采用動態(tài)干涉儀測量低粘度硅油表面的動態(tài)面形，將其平均值作為基準面，用于標定干涉儀的系統(tǒng)誤差?；诙嗑S模態(tài)分析原理，建立液面波動模型，使用有限元法進行仿真。仿真結果顯示，動態(tài)液面是以地球半徑對應的標準液面為基準的垂直波動，振幅呈余弦形式。液面平整度在...