傾斜入射下超透鏡亞波長(zhǎng)聚焦特性研究

摘要： 亞波長(zhǎng)聚焦透鏡被廣泛應(yīng)用于光學(xué)顯微、成像和光刻等光學(xué)領(lǐng)域，具有亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)的聚焦光場(chǎng)在傾斜入射下存在著嚴(yán)重影響光學(xué)成像質(zhì)量的軸外像差。文章展示了一種高數(shù)值孔徑(0.970)的光學(xué)超透鏡設(shè)計(jì)方法，利用具有寬角度響應(yīng)超原子的光場(chǎng)調(diào)控功能，結(jié)合孔徑對(duì)傾斜入射光場(chǎng)的矯正，可同時(shí)滿足傾斜入射時(shí)亞波長(zhǎng)緊聚焦和寬帶操作。數(shù)值仿真結(jié)果表明，在帶有5μm孔徑的超透鏡中，可在傾斜入射角±30°范圍內(nèi)...