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超高真空光學(xué)顯微系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

光學(xué)技術(shù) 頁數(shù)： 5 2024-05-15
摘要： 電子顯微鏡等儀器是研究材料微觀形貌的重要工具，常工作在真空環(huán)境。為了快速瞄準(zhǔn)電子顯微鏡測(cè)量的目標(biāo)區(qū)域，有必要引入一種輔助光學(xué)顯微鏡，直接提供樣品區(qū)域的空間圖像。文章介紹了一種用于超高真空環(huán)境直接觀測(cè)的超高真空光學(xué)顯微系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，光學(xué)顯微物鏡具有21.8mm的長(zhǎng)工作距離，實(shí)現(xiàn)了40倍的光學(xué)放大和實(shí)測(cè)橫向1.28μm,縱向1.59μm的高分辨率成像，足以輔助多種電子顯微類儀器裝置搜...

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