一種等離子體溯源測量裝置設計及性能測試

摘要： 文章設計了一套等離子體溯源測量裝置為驗證感應耦合等離子體（ICP）源作為校準源的性能，找出滿足朗繆爾探針溯源校準的最佳等離子體測試條件，提升測試準確性，采用控制變量法對不同工況下ICP源等離子體電子密度和電子溫度的穩(wěn)定性和均勻性，以及電子密度的重復性進行測試。結果表明：在放電開始5～20 min內(nèi)，等離子體電子密度和電子溫度的穩(wěn)定性分別優(yōu)于99.4%和98.9%；在探針伸入真空...