基于矢量衍射理論的光柵干涉儀位移測(cè)量誤差研究

摘要： 光柵干涉儀位移測(cè)量系統(tǒng)作為測(cè)量領(lǐng)域中最精密的測(cè)量?jī)x器之一，由于在測(cè)量過程中光柵的姿態(tài)位置無(wú)法保證完美裝配，使得光柵的光柵矢量方向與運(yùn)動(dòng)矢量方向之間出現(xiàn)偏差，導(dǎo)致位移測(cè)量結(jié)果出現(xiàn)周期性非線性誤差。文中針對(duì)在光柵干涉儀位移測(cè)量過程中出現(xiàn)的光柵與位移臺(tái)以及讀數(shù)頭之間的姿態(tài)位置誤差進(jìn)行分析，通過分別建立位移坐標(biāo)系及光柵坐標(biāo)系，參考慣性導(dǎo)航領(lǐng)域中飛行器姿態(tài)表示方法，利用一維光柵的橫滾、俯...