高潔凈度超光滑非球面的自動化干涉檢測方法

摘要： 為了實現(xiàn)應(yīng)用于高能激光等領(lǐng)域?qū)Ρ砻鏉崈舳扔兄鴺O高要求的超光滑非球面檢測，排除檢測人員帶來的潔凈度與空氣擾動的影響，研究了高潔凈度超光滑非球面的自動化干涉檢測方法。通過建立補(bǔ)償干涉法非球面失調(diào)量與波前像差之間的靈敏度矩陣，實現(xiàn)利用波前像差求解被測非球面失調(diào)量。以理想干涉系統(tǒng)的離焦、彗差與像散為優(yōu)化目標(biāo)，進(jìn)行反饋控制，實現(xiàn)被測非球面的自動化調(diào)整，進(jìn)而實現(xiàn)高潔凈度超光滑非球面的自動化...