光譜共焦顯微技術研究進展

摘要： 光譜共焦顯微技術結合了共焦顯微鏡的高空間分辨率和光譜分析的高波長分辨率，憑借精度高、適用性強、無損檢測等特性，廣泛應用于工業(yè)生產、生物醫(yī)療和半導體芯片等領域。首先介紹點光譜共焦系統(tǒng)的原理，指出點光譜共焦檢測效率低的缺點。其次，針對光譜共焦顯微技術的關鍵性能指標改善，闡述了在光源、色散物鏡和光譜信號檢測等方面所取得的主要成果，并對各類光源進行定性對比。隨后展示光譜共焦顯微技術的掃...