大口徑主鏡反射膜生長熱應(yīng)力及重力仿真

摘要： 為了充分了解大口徑主鏡鍍膜時(shí)熱應(yīng)力及自身重力的分布規(guī)律，達(dá)到控制反射鏡面形變化、提高成膜質(zhì)量的目的，采用有限元分析方法，對(duì)大口徑主鏡反射膜的生長熱應(yīng)力及重力對(duì)反射鏡面形的影響進(jìn)行了理論分析和研究。結(jié)果表明，大口徑主鏡反射膜更容易在靠近邊緣位置處出現(xiàn)剝落和損壞情況；大口徑主鏡鍍膜過程中，自身重力引起的反射鏡面形變化對(duì)鍍膜質(zhì)量會(huì)產(chǎn)生較大影響，需要進(jìn)行重力消除處理；3000 mm口徑...