一種新的大行程垂直納米運(yùn)動工作臺設(shè)計(jì)與控制研究
計(jì)量學(xué)報(bào)
頁數(shù): 7 2024-03-27
摘要: 在大行程高精度垂直運(yùn)動中,工作臺的設(shè)計(jì)及穩(wěn)定控制是關(guān)鍵因素。因此設(shè)計(jì)一種新型的具有平衡機(jī)構(gòu)的工作臺,以實(shí)現(xiàn)垂直方向上大行程納米穩(wěn)定運(yùn)動。所研究工作臺采用N331壓電直線電機(jī)獨(dú)立驅(qū)動,通過空氣靜態(tài)導(dǎo)軌懸浮,設(shè)計(jì)Z軸平衡系統(tǒng)降低垂直向電機(jī)驅(qū)動負(fù)載。利用步進(jìn)控制方式完成大行程驅(qū)動,模擬方式實(shí)現(xiàn)微位移精密驅(qū)動控制。所提出的驅(qū)動與控制策略,可實(shí)現(xiàn)100 mm垂直方向上高精度快速精密驅(qū)動。...