觸針式表面形貌測(cè)量?jī)x探針幾何特性引起的失真機(jī)理與識(shí)別方法

摘要： 觸針式表面形貌測(cè)量?jī)x廣泛應(yīng)用于表面粗糙度、幾何形狀和波紋度等參數(shù)的測(cè)量，但探針與被測(cè)表面交互時(shí)所產(chǎn)生的卷積效應(yīng)會(huì)導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果的失真。通過(guò)分析探針幾何特性引起的失真機(jī)理，將失真按其特性分為典型失真和復(fù)雜失真。針對(duì)探針球形針尖和錐角復(fù)合效應(yīng)引起的失真現(xiàn)象，提出了一種復(fù)雜失真的多模態(tài)識(shí)別方法。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：相較于形貌測(cè)量?jī)x單模態(tài)識(shí)別典型失真的限制，該方法可以有效識(shí)別形貌測(cè)量結(jié)果中的復(fù)...