AFM-TM微懸臂梁系統(tǒng)混沌運動及控制算法分析

摘要： 針對輕敲式原子力顯微鏡微(AFM-TM)懸臂梁系統(tǒng)的混沌運動會嚴重影響到AFM-TM的測量精度的問題，對該系統(tǒng)動力學特性及控制算法進行了分析。首先，通過數(shù)值仿真，綜合利用Lyapunov指數(shù)、分岔圖、Poincaré截面和相位圖分析了外部激勵幅值變化時AFM-TM微懸臂梁系統(tǒng)運動特性的演化；然后，提出將延時反饋控制和模糊自適應(yīng)延時反饋，用于控制系統(tǒng)的混沌運動；最后，對兩種控制算...