高性能光學(xué)制造

摘要： 聚變點火、同步輻射、光刻機、深空探測、偵察預(yù)警等高端裝備要實現(xiàn)一系列前所未有的極端性能，并朝著多樣化和復(fù)雜化的方向發(fā)展。強光元件、同步輻射反射鏡、掩膜版和光刻物鏡、深空探測X射線反射鏡等關(guān)鍵光學(xué)元件是這些系統(tǒng)實現(xiàn)聚焦、極高能量輸出、極高峰值功率、極端尺寸光束聚焦和納米尺度精確圖案轉(zhuǎn)印等極端性能的關(guān)鍵。要實現(xiàn)這些高端裝備的極端性能，對核心關(guān)鍵元件的光學(xué)制造提出了高精度、低損傷、低... （共14頁）