平板熱管溝槽吸液芯結(jié)構(gòu)刻蝕制造研究進展

摘要： 平板熱管因傳熱面積大、性能高、幾何形狀自適應(yīng)性強等優(yōu)點，在高熱流密度電子器件散熱領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。電子器件的高性能、集成化、小型化發(fā)展促使平板熱管趨向于超薄化，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、質(zhì)量輕、尺寸小的溝槽吸液芯結(jié)構(gòu)平板熱管成為解決電子芯片在有限空間內(nèi)散熱難題的首選方案。傳統(tǒng)的溝槽加工工藝成本較高、溝槽加工尺寸受限，而刻蝕技術(shù)具有加工效率高、可加工結(jié)構(gòu)尺寸范圍廣等優(yōu)勢，逐漸成為平板熱管溝槽吸液...