基于多MEMS梁的微波功率檢測芯片

摘要： 為了優(yōu)化MEMS微波功率檢測芯片的微波性能，提高其制備的可靠性，建立了懸臂梁結(jié)構在線式MEMS微波功率檢測芯片的S參數(shù)模型，研究了懸臂梁的數(shù)目對微波功率檢測芯片微波性能的影響。對多梁結(jié)構微波功率檢測芯片微波性能進行理論推導和仿真，制備了單梁、雙梁結(jié)構MEMS微波功率檢測芯片樣品，并進行了測試。結(jié)果表明，在8～12 GHz的頻率范圍內(nèi)，單梁結(jié)構的微波功率檢測芯片回波損耗小于-27... （共6頁）