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超高壓玻封二極管玻璃體開(kāi)裂的原因及工藝優(yōu)化研究

微電子學(xué) 頁(yè)數(shù): 5 2024-06-20
摘要: 圍繞超高壓二極管在環(huán)境應(yīng)力作用下玻璃體開(kāi)裂問(wèn)題,結(jié)合玻璃粉的材料特性,對(duì)特定型號(hào)玻璃粉采用不同燒結(jié)曲線進(jìn)行試驗(yàn),發(fā)現(xiàn)增加恒溫區(qū)燒結(jié)時(shí)間、減小降溫速率,可提高玻璃體韌性;對(duì)特定型號(hào)的玻璃粉進(jìn)行二次研磨后再燒結(jié),玻璃體中的沙眼和氣泡大幅減小。采用上述工藝制作的超高壓二極管樣品通過(guò)了高溫儲(chǔ)存、高低溫沖擊等環(huán)境應(yīng)力試驗(yàn)。 (共5頁(yè))

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