掃描電鏡中半導體制冷冷臺使用條件優(yōu)化及在高含水量樣品中的應用

摘要： 目的:有效解決高含水量樣品電子顯微結構觀察的難點。方法:通過常規(guī)掃描電子顯微鏡搭配半導體制冷冷臺的新儀器組合模式，對一系列高含水量樣品進行顯微結構觀察。結果:高含水量樣品在以導電膠帶為基質，電壓5 kV,電子束斑值為50/60,冷臺溫度為4℃的條件下，無需對樣品進行固定和脫水處理，可以在掃描電子顯微鏡下直接成像觀察其顯微結構，樣品微觀結構沒有皺縮、拉伸、扭曲等變形現(xiàn)象，能夠更真... （共5頁）