FBAR濾波器TRL校準的仿真與測試

摘要： 針對薄膜體聲波諧振腔（FBAR）濾波器測試夾具誤差校準，提出一種改進的TRL校準方法，將三維電磁仿真和TRL計算結合，用于測試套件（夾具和TRL校準件）的前期設計與優(yōu)化，確保TRL校準件達到足夠精度。由于DUT(device under test，待測器件)參數(shù)未知，實測中采用四種不同結構的測試套件，校準前各組測試結果差異較大，但TRL校準后高度吻合，通帶內(nèi)的差異小于0.2 d... （共7頁）