基于微區(qū)拉曼法的AlGaN/GaN HEMT溝道溫度測試研究

摘要： 針對現(xiàn)有溫度測試技術難以滿足GaN器件壽命、可靠性以及熱管理控制對溝道溫度精確評估的需求，開展基于微區(qū)拉曼法測定AlGaN/GaN高電子遷移率晶體管(HEMT)的溝道溫度的研究。使用拉曼系統(tǒng)測量GaN材料的E₂聲子頻率特征峰來確定溝道溫度。通過使用洛倫茲擬合方法，提高拉曼測試結果精度。對微區(qū)拉曼法和紅外熱成像法測量器件結溫進行量化研究，器件的直流輸出功率密度分別為6、8、10... （共7頁）