MOEMS光邏輯開關狀態(tài)監(jiān)測系統(tǒng)

摘要： 為提高MOEMS光邏輯開關的響應速度、減少長時間熱積累對激光點火系統(tǒng)的影響，提出在電熱式MOEMS光開關中加入狀態(tài)監(jiān)測系統(tǒng)。該監(jiān)測系統(tǒng)包括狀態(tài)監(jiān)測單元、驅(qū)動電路、控制電路、狀態(tài)監(jiān)測電路等，通過在微電熱驅(qū)動器的運動路徑上設置狀態(tài)監(jiān)測單元，當微電熱驅(qū)動器運動到與狀態(tài)監(jiān)測單元接觸時，狀態(tài)監(jiān)測電路識別到接觸信號并輸出觸發(fā)信號，從而實現(xiàn)光邏輯開關的快速切換。針對一種電熱式MOMES光邏輯...