Lamb波模態(tài)體聲波壓電諧振器仿真研究
壓電與聲光
頁數(shù): 6 2024-02-20
摘要: 隨著現(xiàn)代通信技術的發(fā)展,對高性能射頻器件的需求愈加急迫。體聲波(BAW)諧振器憑借其獨特的優(yōu)勢,滿足了高頻應用領域的需求,成為當下射頻器件中熱門的研究方向之一。該文提出一種基于叉指電極的蘭姆波S0模態(tài)BAW諧振器,并討論了支撐錨結構和壓電材料對器件的品質因數(shù)(Q)值的影響,仿真分析了4種錨結構和3種壓電材料下器件的品質因數(shù)情況。同時基于仿真得到的氮化鋁BAW諧振器單元,采用梯形... (共6頁)