壓電變形鏡驅(qū)動器遲滯快速辨識與補(bǔ)償研究

摘要： 采用壓電陶瓷作為促動機(jī)構(gòu)的主動光學(xué)系統(tǒng)。為了對壓電陶瓷驅(qū)動器固有的遲滯非線性進(jìn)行有效抑制校正，以提高系統(tǒng)性能，該文對帶變形鏡鏡面負(fù)載結(jié)構(gòu)的壓電陶瓷驅(qū)動器非線性遲滯動態(tài)進(jìn)行了高效辨識建模，實現(xiàn)了帶鏡面負(fù)載的壓電陶瓷驅(qū)動器相對誤差1.886 7%的遲滯參數(shù)辨識與建模，降低了辨識算法所需時間90%以上，同時克服了負(fù)載結(jié)構(gòu)導(dǎo)致辨識信號信噪比低的問題。實驗證明，所用方法得到的壓電陶瓷遲滯... （共6頁）