基于蘭姆波壓電諧振器的高頻低相噪MEMS振蕩器仿真研究

摘要： 發(fā)達的現(xiàn)代通信設(shè)備對時鐘源器件提出了更高的要求，在保障頻率信號穩(wěn)定的同時還需要器件具備可集成、微型化等特點，微機電系統(tǒng)(MEMS)振蕩器因其具備這些優(yōu)勢，已逐漸替代傳統(tǒng)振蕩器，成為電子設(shè)備中信號源的常用元器件。該文設(shè)計了一種MEMS振蕩器并對其進行仿真測試，該振蕩器的核心選頻器件由Lamb波壓電諧振器組成，在應(yīng)用于振蕩電路前，對設(shè)計的MEMS諧振器進行了仿真測試，并提出兩種優(yōu)化... （共6頁）