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基于IDT/ZnO/AlN/Diamond結(jié)構(gòu)的混合SAW/BAW壓力敏感元件特性研究

壓電與聲光 頁(yè)數(shù): 6 2024-06-20
摘要: 利用有限元方法分析了基于IDT/ZnO/AlN/Diamond不同結(jié)構(gòu)混合SAW/BAW器件的聲學(xué)特性,包括層狀薄膜結(jié)構(gòu)、ZnO薄膜刻蝕結(jié)構(gòu)和填充結(jié)構(gòu)。結(jié)果表明,當(dāng)h_(ZnO)/λ=0.3、h_(AlN)/λ=0.5,且ZnO被完全刻蝕(d/h_(ZnO)=1)時(shí),刻蝕結(jié)構(gòu)混合SAW/BAW(準(zhǔn)西沙瓦波)的機(jī)電耦合系數(shù)(K~2)取得最大值6.54%,比層狀結(jié)構(gòu)(d/h_(Zn... (共6頁(yè))

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