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石英濕法腐蝕及諧振器制作工藝研究

壓電與聲光 頁(yè)數(shù): 5 2024-06-20
摘要: 隨著石英諧振器向小型化、高頻化發(fā)展,其尺寸越來越小,因此,低成本的諧振器精準(zhǔn)制造工藝尤為重要。該文對(duì)石英晶片進(jìn)行腐蝕實(shí)驗(yàn)以確定精準(zhǔn)制造矩形諧振器的最佳工藝條件,研究了溫度對(duì)金屬保護(hù)層完整性的影響,以及腐蝕時(shí)間對(duì)石英表面粗糙度的影響。腐蝕速率穩(wěn)定且適中,有利于諧振器的精準(zhǔn)制造。設(shè)計(jì)了石英諧振器工藝流程,得到質(zhì)量較好的超薄矩形AT切高頻石英諧振器。分析其尺寸誤差產(chǎn)生的原因,并總結(jié)了... (共5頁(yè))

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