氧化鋅錫薄膜晶體管的制備與性能研究

摘要： 為了提高薄膜晶體管的性能，本文基于射頻磁控濺射技術，采用氧化鋅錫（ZTO）材料作為溝道層，在SiO₂/p-Si襯底上制備高性能ZTO薄膜晶體管。采用AFM、XRD、UV-Vis研究了濺射功率對ZTO薄膜的表面形貌和光學性能的影響。使用半導體參數(shù)儀對ZTO薄膜晶體管進行電學性能的測試，利用XPS分析研究濺射功率對ZTO薄膜中元素組成和價態(tài)的影響，探索高性能薄膜晶體管的原理機制。... （共8頁）