MEMS環(huán)形陀螺模態(tài)間剛度耦合頻率調諧

摘要： MEMS陀螺結構的驅動和檢測模態(tài)諧振頻率差(Δf)是決定其機械靈敏度的主要因素，當Δf≈0時，陀螺處于頻率調諧狀態(tài)，此時陀螺的機械靈敏度達到最大值。本文針對一種電容式全對稱S形彈性梁硅基環(huán)形波動陀螺，對其使用調頻電壓進行頻率調諧過程中發(fā)現，模態(tài)間存在一定的剛度耦合。本文分析其模態(tài)間剛度耦合產生的原因是結構誤差(環(huán)形諧振子的結構誤差主要體現在兩個振動參數，一個是頻率，另一個是阻尼...