FeGa膜/AT切石英晶片雙面復合蝶形諧振磁場傳感器

摘要： 蝶形磁致伸縮膜由于磁匯聚，其中心區(qū)域的磁致伸縮應(yīng)變增強，但是和矩形AT切石英晶片復合時，磁膜耦合至矩形晶片電極區(qū)的應(yīng)變會向周圍無磁膜區(qū)域擴散，降低應(yīng)變對晶片厚度剪切振動的作用，降低磁場傳感器靈敏度。提出AT切石英晶片和FeGa膜形狀一樣的蝶形諧振磁場傳感器，蝶形晶片可以將蝶形磁膜增強的晶片應(yīng)變匯聚至晶片電極區(qū)，以提高傳感器靈敏度。仿真結(jié)果預(yù)測，在23.8～118.9 Oe的磁場...