光柵干涉位移傳感器信息解算方法研究

摘要： 面向光柵干涉式位移傳感器信號高精度解算的需求，提出了一種基于橢圓擬合補償及反正切算法的位移解算改進方法。采用傅里葉變換及標準化橢圓參數(shù)擬合法對信號誤差估計，通過構建線性誤差補償模型對帶誤差信號進行正交補償，結合反正切算法對信號進行線性化處理，實現(xiàn)高精度位移解算讀出。Matlab仿真結果表明，該方法對信號正交補償效果顯著，線性化處理算法解算位移最大相對誤差小于0.2%。為提高光柵...