可調諧半導體激光器壓電驅動系統(tǒng)的優(yōu)化設計

摘要： 針對可調諧半導體激光器中普遍存在的輸出光頻率無跳模調諧范圍小、掃描頻率低、結構復雜等亟待解決的問題，研究了可調諧半導體激光器內部壓電驅動系統(tǒng)的動力學特性。基于提高回轉精度、降低軸心偏移量的設計目標，提出了一種多葉片并聯(lián)的星型柔性機構結構。基于Lagrange方程和Duhamel積分，分別建立了壓電驅動系統(tǒng)的運動微分方程和振動方程，在此基礎上建立了柔性機構的動力學模型并對其結構參...