非醇鹽法制備鈮酸鉀鈉薄膜的工藝及性能研究

摘要： 為了利用低成本的Nb₂O₅為原料在傳統(tǒng)硅襯底上制備高質(zhì)量的K_(0.5)Na_(0.5)NbO₃(KNN)薄膜，利用溶膠-凝膠法非醇鹽法制備KNN薄膜，對比了典型和改良的兩種工藝流程，并利用表征工具分析兩種工藝制備薄膜結(jié)構(gòu)和性能。同時，通過改良的工藝制備不同層數(shù)的薄膜，利用表征工具和理論計算分析層數(shù)對KNN薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、應(yīng)變、表面形貌和電性能的影響。XRD結(jié)果表明利用改... （共8頁）