MEMS加速度計全溫性能優(yōu)化方法

摘要： 針對微機電系統(tǒng)（MEMS）加速度計全溫性能低的問題，提出錨區(qū)應(yīng)力對消方法、低應(yīng)力粘接工藝和溫度補償方法。首先，通過調(diào)整兩個鍵合的錨區(qū)面積大小實現(xiàn)錨區(qū)應(yīng)力對消，使得加速度計的溫度性能得到改善；然后，建立加速度計堆疊封裝模型并對專用集成電路（ASIC）粘接參數(shù)、加速度計敏感結(jié)構(gòu)點膠方式與點膠參數(shù)進(jìn)行仿真分析，從而確定了加速度計的低應(yīng)力粘接形式和粘接工藝；最后，對加速度計零偏和標(biāo)度因...