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不同參數(shù)四極桿組件寬質(zhì)量范圍性能仿真

真空科學與技術學報 頁數(shù): 9 2023-11-10
摘要: 四極質(zhì)譜計應用需求的不斷擴大對四極桿組件需求量迅速增加,為滿足大批量、通用化要求需研發(fā)幾種固定尺寸的模塊化四極桿組件,再設計不同的射頻電源來滿足應用需求。基于四極電場和離子運動理論,使用離子光學仿真軟件SIMION對電場分布和離子運動軌跡進行了建模和計算分析。仿真分析結果表明,在所選定仿真參數(shù)下,場半徑主要決定大質(zhì)荷比離子通過率曲線形狀,其對不同質(zhì)荷比離子通過率影響不同,對分辨... (共9頁)

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